臭氧氧化法主要通過(guò)直接反應和間接反應兩種途徑得以實(shí)現。其中直接反應是指臭氧與有機物直接發(fā)生反應，這種方式具有較強的選擇性，一般是進(jìn)攻具有雙鍵的有機物，通常對不飽和脂肪烴和芳香烴類(lèi)化合物較有效；間接反應是指臭氧分解產(chǎn)生·OH，通過(guò)·OH與有機物進(jìn)行氧化反應，這種方式不具有選擇性。臭水氧化法雖然具有較強的脫色和去除有機污染物的能力，但該方法的運行費用較高，對有機物的氧化具有選擇性，在低劑量和短時(shí)間內不能完全礦化污染物，且分解生成的中間產(chǎn)物會(huì )阻止臭氧的氧化進(jìn)程�？梢�(jiàn)臭氧氧化法用于垃圾滲濾液的處理仍存在很大的局限性。
用臭氧作氧化劑對廢水進(jìn)行凈化和消毒處理的方法。臭氧具有很強的氧化能力，因此在環(huán)境保護和化工等方面被廣泛應用。用臭氧氧化處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。主要的工藝設施由臭氧發(fā)生器和氣水接觸設備組成。臭氧氧化法主要用于水的消毒、去除水中酚、氰等污染物質(zhì)，水的脫色、除去水中鐵、錳等金屬離子，除異味和臭味。